雙五星
一種有機(jī)無機(jī)混合集成的可變光衰減器及其制備方法
一種有機(jī)無機(jī)混合集成的可變光衰減器及其制備方法，屬于平板光波導(dǎo)器件及其制備技術(shù)領(lǐng)域，由硅襯底、二氧化硅下包層、條形結(jié)構(gòu)的摻鍺的二氧化硅輸入波導(dǎo)和摻鍺的二氧化硅輸出波導(dǎo)、基于垂直MMI結(jié)構(gòu)的層間轉(zhuǎn)換器、摻硼和磷的二氧化硅上包層、1×1馬赫曾德熱光開關(guān)、聚合物上包層和加熱電極組成，輸入波導(dǎo)和輸出波導(dǎo)的折射率大于二氧化硅上包層的折射率。本發(fā)明垂直MMI結(jié)構(gòu)緊湊，以聚合物熱光開關(guān)型VOA器件取代了傳統(tǒng)無機(jī)PLC的VOA器件，實(shí)現(xiàn)了光從下層無機(jī)波導(dǎo)向上層聚合物波導(dǎo)的傳輸，本發(fā)明高效率地調(diào)節(jié)光傳輸功率，器件功耗低，實(shí)現(xiàn)了有機(jī)無機(jī)光子器件的單片集成，與現(xiàn)有二氧化硅PLC工藝相兼容，易于大規(guī)模生產(chǎn)，成本低。
吉林大學(xué)
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