專利名稱 一種有機(jī)無機(jī)混合集成的可變光衰減器及其制備方法
申請?zhí)?專利號 CN202111438405.X 專利權(quán)人（第一權(quán)利人） 吉林大學(xué)
申請日 2021-11-30 授權(quán)日 2024-04-19
專利類別 授權(quán)發(fā)明 戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)分類 雙五星
技術(shù)主題 電極|折射率|工程學(xué)|轉(zhuǎn)換器|波導(dǎo)管|聚合物|摻磷|有機(jī)無機(jī)|二氧化硅|聚合物波導(dǎo)|鍺|材料科學(xué)|光開關(guān)|光衰減器
應(yīng)用領(lǐng)域 光波導(dǎo)的耦合|光波導(dǎo)光導(dǎo)
意向價格 具體面議
專利概述 一種有機(jī)無機(jī)混合集成的可變光衰減器及其制備方法，屬于平板光波導(dǎo)器件及其制備技術(shù)領(lǐng)域，由硅襯底、二氧化硅下包層、條形結(jié)構(gòu)的摻鍺的二氧化硅輸入波導(dǎo)和摻鍺的二氧化硅輸出波導(dǎo)、基于垂直MMI結(jié)構(gòu)的層間轉(zhuǎn)換器、摻硼和磷的二氧化硅上包層、1×1馬赫曾德熱光開關(guān)、聚合物上包層和加熱電極組成，輸入波導(dǎo)和輸出波導(dǎo)的折射率大于二氧化硅上包層的折射率。本發(fā)明垂直MMI結(jié)構(gòu)緊湊，以聚合物熱光開關(guān)型VOA器件取代了傳統(tǒng)無機(jī)PLC的VOA器件，實現(xiàn)了光從下層無機(jī)波導(dǎo)向上層聚合物波導(dǎo)的傳輸，本發(fā)明高效率地調(diào)節(jié)光傳輸功率，器件功耗低，實現(xiàn)了有機(jī)無機(jī)光子器件的單片集成，與現(xiàn)有二氧化硅PLC工藝相兼容，易于大規(guī)模生產(chǎn)，成本低。
圖片資料 一種有機(jī)無機(jī)混合集成的可變光衰減器及其制備方法
合作方式 具體面議
聯(lián)系人 戚梅宇 聯(lián)系電話 13074363281